科技强国从升级镜头开始正文卷第83章现在就拆给你看!
光刻作为芯片制造流程中最关键的环节,其基本原理其实很简单,就是用光,来完成对硅片的雕刻。
光刻中的硅片,就像是挂在墙上的投影布,而光刻机则是投影仪,
如果投影布表面不平整,出现起伏,那投影的画面自然就会扭曲变形。
在光刻中,硅片的表面瑕疵,则会导致投影上去的电路设计路变形,从而导致良率降低,甚至整张晶圆报废。
所以想要得到一张能用来制造芯片的硅片,则需要把切割后的单晶硅片进行抛光打磨,直至它的表面平整度低于1.5nmRMS。
这相当于在电影院挂上一块大幕布,它的表面起伏不能超过一根头发丝大小,无限接近于完美的镜面。
因此,这对硅片制造抛光工艺要求,自然就显得极其重要了。
从圆珠笔头上的小钢珠,到芯片的原材料硅片,再到光刻机上的镜片,最后甚至是科幻三体中表面完美无暇的水滴……
其实考验一个文明工业水平高度的,就是看你能把一个物品造得有多精细。
而造精细的东西,自然就需要空气干净的洁净室,不然空气中全是灰尘细菌,再怎么打磨造不出合格的硅片。
“其实这些年我们通过仿制岛国的设备,已经可以达到2.6nmRMS的平整度了,但无论我们再怎么检查,哪怕每一个零件都已经达标了,但依然没办法继续突破……”
严辉穿一边穿着防护服,一边向康驰介绍着他们的研究进度。
“抛到2.6nmRMS用的是什么抛光液?”
“以SiO2为基础,加入0-70wt%的双氧水,最后用KOH调节pH到8.5。”
康驰点了点头:“先看看再说吧。”
两人穿好防护服后,很快就来到了抛光实验室,然后由严辉主持,向康驰演示了一次抛光实验。
在传统的硅片抛光打磨中,通常会先用机械抛光机,对硅片进行初步打磨,再清洗,最后进行化学机械抛光,也称为精磨。
精磨是一种利用抛光液的化学腐蚀功能,配合机械转盘的机械打磨,两者互相配合来达到硅片的工艺标准。
实验的结果是3.1nmRMS,比他们能做的极限还差不少。
康驰沉思了片刻,然后说道:“换成30wt2O3基液,加65wt%高锰酸钾作为化学抛光液,用5wtO3调成8.0的PH值再试一遍。”
();() 严辉点了点头,带着研究员们调配好抛光液,然后重新进行了一次实验。
“平整度5.9nmRMS。”
看到这个结果,原本还有点小期待的严辉,不由露出一抹失望的神色。
但康驰却依然不为所动,又报出了一组抛光液配比,让他们重新进行第三次实验。
“平整度5.9nmRMS。”
5.9?
还是5.9?!
巫族与妖族联手演戏,牺牲几位顶级大佬,开辟出不属于洪荒世界的空间做为巫妖两族的新栖息地。除后土外的十一祖巫真灵散落各个小世界,穿越而来的苏青霓在后土的委托下前往各小世界寻找祖巫真灵,开启丰富多彩的时...
第三届网络原创文学现实主义题材征文大赛参赛作品伸手就要摸到美男的胸肌,夏夕颜却被强行绑定了一个叫007的坑爹系统,丢到三千世界攻略黑化大boss。听到黑化二字,夏夕颜想都不想拔腿就跑。男色和命,命重...
江湖人称她为珑爷,但她却绝非一个男人哦不对,她灵魂里住着一个男人明明可以靠颜值,她偏偏要靠才华。明明可以吃软饭,她偏偏要自己打拼。明明可以让别人保护,她却练成了全世界最强的女人,哦不应...
袁隆平团队的农业专科女博士,一朝穿越,成了软弱可欺的小村姑,还有个小包子瞪着水汪汪的眼睛喊娘亲,没粮没钱,吃了上顿没下顿不说,前有极品亲戚欺压,后有伪善闺蜜陷害,温婉表示不怕不怕,撸起袖管儿,赚钱养...
[日万字更新]影后唐时玥穿成农家傻女,头顶草原爹,奇葩白莲娘,骂街杀熟招摇撞骗的亲人,我家的糟心数不清。那又怎样天生锦鲤体质,跟我躺赢盘我福多逢凶化吉坐地生金了解下否极泰来万人之上了解下咳...
作为玛丽苏本苏,天生万人迷的姜滢,总是会因为自己的魅力太大而面临困扰。直到她绑定了系统,只要有人对她产生贪念她就会越来越美。姜滢我似乎并不需要做什么,那些人,就会义无反顾地为我做一切呢。被太...